美國(guó)Alicat艾里卡特MC/MCR/MCV/MCRW/MCR/P氣體質(zhì)量流量控制器MCS/MCRS耐腐蝕氣體流量控制器

美國(guó)艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器，快速的質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器有助于提高過(guò)程控制和校準(zhǔn)效率。艾里卡特提供多種配置方法，為您定制適用于低壓損、高壓環(huán)境或腐蝕性應(yīng)用的氣體流量計(jì)或控制器。標(biāo)準(zhǔn)功能包括實(shí)時(shí)讀數(shù)、閥門(mén)快速動(dòng)作以及多種氣體校準(zhǔn)。艾里卡特提供眾多型號(hào)，專(zhuān)門(mén)定制用于高達(dá)5000 slpm或者低至2.5 sμlm/0.0025sccm的流速。美國(guó)Alicat艾里卡特MC/MCR/MCV/MCRW/MCR/P氣體質(zhì)量流量控制器MCS/MCRS耐腐蝕氣體流量控制器LC/LCS液體流量控制器

ALICAT流量控制器
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器
響應(yīng)式氣體流量控制，控制壓力波動(dòng)

艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、精確可靠穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值，使其能夠控制管線壓力波動(dòng)，因而不會(huì)影響您的過(guò)程下游。定制化閥門(mén)選配項(xiàng)和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量?jī)x表的高性能：
在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時(shí)間
無(wú)需預(yù)熱
四個(gè)過(guò)程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補(bǔ)償
溫度補(bǔ)償
寬動(dòng)態(tài)流量范圍
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器是我們的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，其型號(hào)眾多，可測(cè)量高達(dá)5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管線壓力較高（145-305 psig），請(qǐng)選擇MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器。

MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應(yīng)用環(huán)境、泄漏測(cè)試，也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動(dòng)響應(yīng)時(shí)間。
若您需要現(xiàn)有熱式質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)易替換件，MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門(mén)置于內(nèi)部，使其工藝連接件與SEMI標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度相符。
對(duì)于真用應(yīng)用，MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一氣動(dòng)截止閥。

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用和大量訂單環(huán)境。
為滿足生物反應(yīng)器市場(chǎng)的需求，Alicat發(fā)布了專(zhuān)門(mén)用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。

性能極佳的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件
兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)

配件（需另行訂購(gòu)）
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件
查找配件

型號(hào)變體
低壓損型號(hào)，最多60 psia（MCW系列）
高壓型號(hào)，160-320 psia（MCQ系列）
閥門(mén)內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）

閥門(mén)選項(xiàng)
您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén)，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持最佳性能。
MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
具有PCA名稱(chēng)的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應(yīng)用
MCP系列—選配最大孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)。
MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量
艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D

艾里卡特MCP系列氣體質(zhì)量流量控制器采用最大孔徑的小型閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列氣體質(zhì)量流量控制器將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無(wú)摩擦的Rolamite閥門(mén)，可選用各種孔徑，實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。

MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。

MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，將兩個(gè)閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，實(shí)現(xiàn)對(duì)高壓應(yīng)用的更強(qiáng)大控制。
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D

艾里卡特MCRS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，采用幾乎無(wú)摩擦的Rolamite閥門(mén)，可選用各種孔徑，實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR

MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器，響應(yīng)式氣體流量控制，保證系統(tǒng)影響最小

美國(guó)ALICAT艾里卡特MCW/MCPW/MCRW/MCHW/MCRWH低壓損氣體質(zhì)量流量控制器,常用型號(hào)：
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D

MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D

MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D

MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR

Whisper系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器，適用于在幾乎沒(méi)有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量和體積流量。低壓損將保證對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響，實(shí)現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保產(chǎn)品能夠在保持低壓損的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

耐用。MCW，MCRW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識(shí)庫(kù)、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)，請(qǐng)點(diǎn)擊Alicat文件中心。
定制
零件編號(hào)

性能
可用量程：最大0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件
兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
 
配件（需另行訂購(gòu)）
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件
查找配件
 
型號(hào)變體
標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)，最高160 psia（MC系列）
高壓應(yīng)用型號(hào)：160-320 psia（MCQ系列）

閥門(mén)選項(xiàng)
您可以為您的MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén)，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持最佳性能。
MCW系列—選配小型比例控制閥，適用于2 slpm及以下量程
MCPW系列—選配最大孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCHW系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)。
MCRW系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm及以上流量
 
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂）

性能選項(xiàng)
流量累加器
集成式電位計(jì)控制
高精度或自定義校準(zhǔn)
查看所有選擇項(xiàng)目
MCW
MCPW
MCHW
MCRW

艾里卡特MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
艾里卡特MCPW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用最大孔徑的小型閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
艾里卡特MCHW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D

艾里卡特MCRW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無(wú)摩擦的Rolamite閥門(mén)，可選用各種孔徑，實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR

腐蝕性氣體（MCQS系列）
MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCQS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門(mén)升級(jí)為303不銹鋼閥門(mén)，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門(mén)（PCA型）和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂）

性能選項(xiàng)
流量累加器
集成式電位計(jì)控制
高精度或自定義校準(zhǔn)
查看所有選擇項(xiàng)目
MCQ
MCHQ
MCRQ
MCQS
MCHQS
MCRQS

艾里卡特MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D

艾里卡特MCHQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D

艾里卡特MCRQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無(wú)摩擦的Rolamite閥門(mén)，可選用各種孔徑，實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
艾里卡特MCQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D

艾里卡特MCHQS系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，將兩個(gè)閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，實(shí)現(xiàn)對(duì)高壓應(yīng)用的更強(qiáng)大控制。
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR

ALICAT質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器 氣體質(zhì)量流量控制器 MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器 
簡(jiǎn)單升級(jí)老化的熱式流量控制器
艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專(zhuān)用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下：與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對(duì)端的匹配連接。

MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥，適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。
多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
更多產(chǎn)品信息和資訊，歡迎瀏覽知識(shí)庫(kù)、行業(yè)應(yīng)用和新聞博客。
如需查看或下載產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)，請(qǐng)點(diǎn)擊Alicat文件中心。
定制
零件編號(hào)

性能
可用量程：最大0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（最大值，氦氣）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件
兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：
MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件
查找配置
型號(hào)變體
閥門(mén)內(nèi)置（確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致）型號(hào)（MCE系列）
閥門(mén)內(nèi)置并加裝氣動(dòng)截止閥的型號(hào)，適合真空應(yīng)用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號(hào)（MCS系列，見(jiàn)下文）
另有：
閥門(mén)安裝在外部的標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)(MC系列)
閥門(mén)選項(xiàng)
您可以為您的質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén)，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持最佳性能。
MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
MCV系列—選配內(nèi)部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動(dòng)截止閥

腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）
MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門(mén)升級(jí)為303不銹鋼閥門(mén)，傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級(jí)為FFKM。
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)
通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂）
性能選項(xiàng)
流量累加器
集成式電位計(jì)控制
高精度或自定義校準(zhǔn)
查看所有選擇項(xiàng)目
MCE
MCES
MCV
MCVS

艾里卡特MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D

艾里卡特MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D

艾里卡特MCVS系列真空氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部安裝的小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個(gè)下游用的氣動(dòng)截止閥。
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器
OEM應(yīng)用中的基礎(chǔ)流量控制
對(duì)于大數(shù)額訂單，BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器，能為用戶(hù)提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟(jì)的氣體流量控制方案。專(zhuān)為原始設(shè)備制造商（OEM）無(wú)應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計(jì)的BASIS輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門(mén)控制。
可靠。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器絕不會(huì)讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時(shí)仍像第一天一樣。
靈敏。您不會(huì)再因?yàn)閴毫Ψ逯刀鴼Я艘徽?。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的控制速度和閥門(mén)調(diào)節(jié)，能帶給用戶(hù)的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
兼容。BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項(xiàng)目設(shè)計(jì)提供更大的靈活性。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
可重復(fù)性：0.5%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度
工作條件
兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕?、一氧化二氮（可通過(guò)串行連接選擇氣體）；訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
包裝清單
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
通訊線纜
Flow Vision軟件
結(jié)構(gòu)選項(xiàng)
通訊協(xié)議（0-5 Vdc模擬通訊，RS-232、RS-485、Modbus-RTU）
工藝連接件（NPT或SAE）
多氣體校準(zhǔn)（空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣、一氧化二氮?br /> 單種氣體校準(zhǔn)（氦氣、氫氣）
BC
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
BC-L0050 (0.5-50 slpm)
OEM氣體分析儀的流量控制
確保OEM分析儀器中精密流量測(cè)量。快速的閥門(mén)響應(yīng)及高精度保證了傳輸?shù)椒治鰞x傳感器的氣體流量的可重復(fù)性和穩(wěn)定性。外形靈巧、瞬時(shí)響應(yīng)、數(shù)字模擬雙重通訊使得BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器可輕易集成于終端設(shè)備。
自動(dòng)化氣體混合
采用可瞬時(shí)進(jìn)行精密測(cè)量的BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行配氣。迅速反饋到PLC或PC的模擬及數(shù)字信號(hào)允許用戶(hù)實(shí)時(shí)調(diào)整流量設(shè)定值以達(dá)到預(yù)設(shè)混合比例。

MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器
全球最全能的氣體流量控制器
在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，艾里卡特MCD系列是世界上第一臺(tái)雙向氣體質(zhì)量流量控制器。這款儀器從一個(gè)方向控制流入流動(dòng)或密閉過(guò)程系統(tǒng)的流量，再倒轉(zhuǎn)流向，還能同時(shí)完成各個(gè)方向流量、壓力和溫度的多元測(cè)量；或者在監(jiān)控流速的同時(shí)利用壓力控制功能控制進(jìn)入密閉過(guò)程系統(tǒng)的流量，然后排空，且無(wú)需額外排氣閥。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保實(shí)現(xiàn)對(duì)兩個(gè)方向的快速、穩(wěn)定的控制。

多功能。利用正壓或真空控制一個(gè)或者兩個(gè)方向的流量?；蛘呖刂七M(jìn)入流動(dòng)或端閉過(guò)程系統(tǒng)的壓力。（下載右側(cè)信息圖，了解流量圖表。）在所有情況下，均可完成多元測(cè)量（包括對(duì)質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度的測(cè)量）；此外還可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：最大-5000至+5000 slpm；最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
標(biāo)準(zhǔn)精度：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
高精度（選配）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
工作條件

兼容氣體：98種（MCD系列）或130種（MCDS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）
過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件

MCD系列雙向氣體質(zhì)量流量控制器,常用型號(hào)：
MCD-0.5SCCM-D
MCD-1SCCM-D
MCD-2SCCM-D
MCD-5SCCM-D
MCD-10SCCM-D
MCD-20SCCM-D
MCD-50SCCM-D
MCD-100SCCM-D
MCD-200SCCM-D
MCD-500SCCM-D
MCD-1SLPM-D
MCD-2SLPM-D
MCD-5SLPM-D
MCD-10SLPM-D
MCD-20SLPM-D

MCPD-10SLPM-D
MCPD-20SLPM-D
MCPD-50SLPM-D
MCPD-100SLPM-D
MCPD-250SLPM-D

MCRD-50SLPM-D
MCRD-100SLPM-D
MCRD-250SLPM-D
MCRD-500SLPM-D
MCRD-1000SLPM-D
MCRD-1500SLPM-D
MCRD-2000SLPM-D-PAR
MCRD-3000SLPM-D-PAR

MCDS-0.5SCCM-D
MCDS-1SCCM-D
MCDS-2SCCM-D
MCDS-5SCCM-D
MCDS-10SCCM-D
MCDS-20SCCM-D
MCDS-50SCCM-D
MCDS-100SCCM-D
MCDS-200SCCM-D
MCDS-500SCCM-D
MCDS-1SLPM-D
MCDS-2SLPM-D
MCDS-5SLPM-D
MCDS-10SLPM-D
MCDS-20SLPM-D

MCRDS-50SLPM-D
MCRDS-100SLPM-D
MCRDS-250SLPM-D
MCRDS-500SLPM-D
MCRDS-1000SLPM-D
MCRDS-1500SLPM-D
MCRDS-2000SLPM-D-PAR
MCRDS-3000SLPM-D-PAR

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器
最全能的氣體流量控制器（對(duì)系統(tǒng)影響極?。?br /> 在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，Whisper系列雙向質(zhì)量流量控制器非常適用于在幾乎沒(méi)有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量和體積流量。低壓損將保證對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響，實(shí)現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。艾里卡特MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器在非常全能的MCD系列雙向流量控制器基礎(chǔ)上增加了低壓損優(yōu)點(diǎn)。
MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器從一個(gè)方向控制流入流動(dòng)或密閉過(guò)程系統(tǒng)的流量，再倒轉(zhuǎn)流向，還能同時(shí)完成各個(gè)方向流量、壓力和溫度的多元測(cè)量；或者在監(jiān)控流速的同時(shí)利用壓力控制功能控制進(jìn)入密閉過(guò)程系統(tǒng)的流量，接著排空，且無(wú)需額外排氣閥。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保實(shí)現(xiàn)對(duì)兩個(gè)方向的快速、穩(wěn)定的控制。

多功能。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用正壓或真空控制一個(gè)或者兩個(gè)方向的流量?；蛘呖刂七M(jìn)入流動(dòng)或端閉過(guò)程系統(tǒng)的壓力。（下載右側(cè)信息圖，了解流量圖表。）在所有情況下，都可完成多元測(cè)量（包括對(duì)質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度的測(cè)量）；此外還可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

連接。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：最大-5000至+5000 slpm；最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)）
標(biāo)準(zhǔn)精度：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
高精度（選配）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程），雙向
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
工作條件

兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）

過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
 電源
 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
 BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件

呼吸設(shè)備雙向流量壓力性能對(duì)比測(cè)試
按照與呼吸頻率相符的流速，雙向控制進(jìn)出呼吸設(shè)備的流量，模擬人類(lèi)呼吸。低壓損的MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器還可在施加極小壓力的情況下緩慢“呼吸”。
遠(yuǎn)程空氣采樣和校準(zhǔn)雙向流量控制
從一個(gè)方向利用真空泵完成大氣采樣，接著從另一個(gè)方向利用正壓定期校準(zhǔn)氣體分析儀；對(duì)于前述所有操作，均無(wú)需斷開(kāi)系統(tǒng)任何部分。低壓損的MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品允許在16.7lpm標(biāo)準(zhǔn)流量下完成體積流量采樣。這使得在無(wú)人介入的情況下也能完成遠(yuǎn)程空氣監(jiān)測(cè)站的操作和校準(zhǔn)。

MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器常用型號(hào)：
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D

MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D

MCT,MCTS系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器
利用成比例流量控制功能完成換流
在多向氣體質(zhì)量流量控制器中，MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可以減少庫(kù)存并清理工作場(chǎng)所。位于上游的兩個(gè)閥門(mén)允許切換氣源。位于下游的兩個(gè)閥門(mén)允許在單個(gè)氣源上運(yùn)行兩個(gè)獨(dú)立的過(guò)程系統(tǒng)。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門(mén)和PID功能，確保實(shí)現(xiàn)各個(gè)方向的快速、溫度控制。

多功能。MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器將單個(gè)氣源用于兩個(gè)獨(dú)立的過(guò)程系統(tǒng)或者在單個(gè)過(guò)程系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)兩個(gè)獨(dú)立氣源的切換。切換氣源時(shí)，選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能

可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200：1（MCT系列）或者100：1（MCTS系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
工作條件

兼容氣體：98種（MCT系列）或130種（MCTS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶(hù)可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）
包裝清單

MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）

過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件
MCT和MCTS流量控制器應(yīng)用：
裝瓶過(guò)程持續(xù)運(yùn)行
MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器上游配置型號(hào)可用于持續(xù)運(yùn)行氣瓶送氣過(guò)程系統(tǒng)。瓶壓低于規(guī)定閾值時(shí)，只需將輸入切換至另一流線及其裝滿的氣瓶。當(dāng)該氣瓶為過(guò)程系統(tǒng)送氣時(shí)，您可將第一條流線上的空氣瓶替換為另一個(gè)裝滿的氣瓶。

分析儀多氣源校準(zhǔn)
通過(guò)在進(jìn)口處換流，實(shí)現(xiàn)對(duì)用于測(cè)量大氣污染物濃度的氣體分析儀的校準(zhǔn)。三個(gè)已校準(zhǔn)的獨(dú)立氣瓶和溫室氣體混合物由MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器的三個(gè)進(jìn)氣閥控制。出口側(cè)的另一個(gè)比例閥用于控制各流線流量（分析儀有需要時(shí)）。

單個(gè)氣源為多個(gè)分析過(guò)程系統(tǒng)送氣
MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器下游配置型號(hào)可用于從單個(gè)氣源處為兩個(gè)完全獨(dú)立的分析過(guò)程系統(tǒng)送氣。您可對(duì)大氣進(jìn)行采樣，輪流將其送至兩個(gè)獨(dú)立的分析儀?；蛘?，您可從同一個(gè)氮?dú)馄繛閮蓚€(gè)獨(dú)立的過(guò)程系統(tǒng)（各系統(tǒng)均配有完全成比例的流量控制器）送氣。

MCT系列換流型氣體質(zhì)量流量控制器，常用型號(hào)：
MCT-0.5SCCM-D
MCT-1SCCM-D
MCT-2SCCM-D
MCT-5SCCM-D
MCT-10SCCM-D
MCT-20SCCM-D
MCT-50SCCM-D
MCT-100SCCM-D
MCT-200SCCM-D
MCT-500SCCM-D
MCT-1SLPM-D
MCT-2SLPM-D
MCT-5SLPM-D
MCT-10SLPM-D
MCT-20SLPM-D

MCTS-0.5SCCM-D
MCTS-1SCCM-D
MCTS-2SCCM-D
MCTS-5SCCM-D
MCTS-10SCCM-D
MCTS-20SCCM-D
MCTS-50SCCM-D
MCTS-100SCCM-D
MCTS-200SCCM-D
MCTS-500SCCM-D
MCTS-1SLPM-D
MCTS-2SLPM-D
MCTS-5SLPM-D
MCTS-10SLPM-D
MCTS-20SLPM-D

艾里卡特Alicat液體流量控制器和流量計(jì)可準(zhǔn)確完成水或甲醇、異丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、標(biāo)準(zhǔn)異辛烷或庚烷等其它液體的流量測(cè)量并對(duì)其進(jìn)行穩(wěn)定控制。所有液體流量?jī)x表均配備放液螺釘，方便拆除集氣袋。

LC系列液體流量控制器特點(diǎn)如下：采用高速比例控制閥進(jìn)行控制或分配應(yīng)用。
對(duì)于沒(méi)有控制閥的液體流量測(cè)量作業(yè)，請(qǐng)選擇L系列液體流量計(jì)，實(shí)時(shí)測(cè)量流量、壓力和溫度。
LB系列便攜式液體流量計(jì)加裝了可充電電池，方便檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室外部的液體流量。

LC,LCR,LCS,LCRS系列液體流量控制器
快速的液體流量控制與分配
在液體流量控制器和流量計(jì)中，LC系列液體流量控制器可作出最快速的控制響應(yīng)，控制高達(dá)10 lpm或者低至0.01 ccm的液體流量?？蛇x裝的精密分配程序包增加了流量累加器和控制固件，方便批量處理。

多功能。LC系列液體流量控制器具有NIST可溯源精度，或者能夠同時(shí)控制壓力并監(jiān)測(cè)流量?？蓸?biāo)定液體有水、甲醇、異丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、戊烷、噻吩、標(biāo)準(zhǔn)異辛烷和庚烷等。
使用簡(jiǎn)單。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)過(guò)程流量、壓力和溫度讀數(shù)，或者設(shè)置新的分配批次——均可從液體控制器前顯示屏完成。
連接。LC系列液體流量控制器利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
艾里卡特Alicat提供先進(jìn)的質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。

性能
可用量程：最大0-10 lpm；最小0-0.5 ccm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)）
可調(diào)比：50：1
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±2%滿量程
可重復(fù)性：2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間
工作條件

默認(rèn)標(biāo)定液體：水
其它標(biāo)定液體（必須在訂購(gòu)時(shí)提出）：甲醇、異丙醇、乙醇、氨、二甲基乙醚、異戊烷、噻吩、標(biāo)準(zhǔn)異辛烷、庚烷
工作溫度：-10°C（未結(jié)冰）至+60°C
最大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：100 psig（115 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
包裝清單

LC系列液體流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)
配件（需另行訂購(gòu)）

過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件

LC系列液體流量控制器，常用型號(hào)：
LC-0.5CCM-D-PCA11
LC-1CCM-D-PCA12
LC-2CCM-D-PCA13
LC-5CCM-D
LC-10CCM-D
LC-20CCM-D
LC-50CCM-D
LC-100CCM-D
LC-200CCM-D
LC-500CCM-D

LCR-1LPM-D
LCR-2LPM-D
LCR-5LPM-D
LCR-10SLPM-D

LCS-0.5CCM-D-PCA11
LCS-1CCM-D-PCA12
LCS-2CCM-D-PCA13
LCS-5CCM-D (-PCA13)
LCS-10CCM-D (-PCA14)
LCS-20CCM-D (-PCA14)
LCS-50CCM-D
LCS-100CCM-D
LCS-200CCM-D (-PCA17)
LCS-500CCM-D (-PCA17)

LCRS-1LPM-D
LCRS-2LPM-D
LCRS-5LPM-D
LCRS-10SLPM-D

產(chǎn)品應(yīng)用：
微流體直接流量控制（LC,LCR系列液體流量控制器）
直接將流量控制低至0.01 ccm（10 μlm），無(wú)需對(duì)液體頂空實(shí)施壓力控制。

液體產(chǎn)品分配（LC，LCR系列液體流量控制器）
分配各種流速的液體產(chǎn)品，并對(duì)劑量進(jìn)行精確控制。

液體流量特性測(cè)試（L系列液體流量計(jì)）
確定泵送流水流量或者醫(yī)用導(dǎo)管鹽水流量的特性。

冷卻系統(tǒng)泄漏檢測(cè)（LB系列液體流量計(jì)）
冷卻系統(tǒng)泄漏測(cè)試過(guò)程中，對(duì)流速進(jìn)行量化。

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